Die Vakuumtechnik
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Geräte und Verfahren, mit denen ein Vakuum erzeugt, aufrechterhalten, gemessen und für technische Zwecke genutzt wird
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Die moderne Vakuumtechnik ermöglicht die Herstellung empfindlicher Halbleiterbauteile.
Geräte und Verfahren, mit denen ein Vakuum erzeugt, aufrechterhalten, gemessen und für technische Zwecke genutzt wird
